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TMC主動(dòng)隔振光學(xué)平臺STACIS IIIc
STACIS IIIc是STACIS III高級主動(dòng)隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常適合在沒(méi)有或地板很低的活動(dòng)地板上使用，因為標準STACIS III系統的高度會(huì )使儀器過(guò)高。
在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規STACIS III高度的60％。在具有3個(gè)以上隔離器的系統中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負載設置。有關(guān)詳細信息，請參見(jiàn)下面的規格。
TMC主動(dòng)隔振光學(xué)平臺STACIS IIIc的優(yōu)勢
與常規STACIS III系統相比，隔離器高度最多降低42％，而性能卻沒(méi)有降低。
STACIS比空氣隔振器堅固數百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統的局限性。它沒(méi)有“軟"懸架，與主動(dòng)空氣系統不同，STACIS可以放置在帶有內部主動(dòng)空氣隔振系統的工具下方，使兩個(gè)系統都在最佳狀態(tài)下運行。
*特的串行設計和專(zhuān)有的高力壓電技術(shù)
可實(shí)現0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的*越主動(dòng)隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
規格
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz時(shí)的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩定時(shí)間 （減少10:1） | 0.3秒 |
內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每個(gè)隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
剛度（1000磅/454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng) | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器設計、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
主動(dòng)隔振元件 | 最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運動(dòng)速度成正比的電壓 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動(dòng) |
隔振器尺寸（寬x深x高） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm
* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
隔振器重量 | 53磅（24千克） |
工作溫度 | 50° - 90° F |
儲存溫度 | -40° - 130° F |
濕度 | 30 - 60% |
系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每個(gè)系統的隔振器數量 | 至少3個(gè) |
可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩 |
DC-2020控制器規格
尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
后面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
用戶(hù)界面 | 前面板液晶顯示屏 |
STACIS用戶(hù)及應用領(lǐng)域
1、微電子、半導體
●晶片檢測
●顯微光刻技術(shù)
●掩膜校準
2、科學(xué)研究、納米技術(shù)
●SEM、TEM
●STEM、SPM
3、激光臺
●生命科學(xué)、藥物研發(fā)
4、工業(yè)應用
●精密加工
為什么要選擇主動(dòng)系統？
●從<1Hz開(kāi)始強烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振
●提高質(zhì)量、生產(chǎn)量
●更加細小特色的成像能力
●前沿研究
●比氣動(dòng)平臺更穩定
●滿(mǎn)足SEM標準地點(diǎn)安裝參數的*一解決方案
●使得新實(shí)驗室及研究設備的工程造價(jià)更低
主動(dòng)系統為何選擇STACIS
●正中了科研者的的心聲，提供了盡可能*美的無(wú)震環(huán)境。
●市場(chǎng)上*美強勁的低頻隔振系統。
●目前所有的SEM廠(chǎng)商都公布了安裝參數要求，其需要的震動(dòng)參數需要主動(dòng)隔振系統才能滿(mǎn)足。
●STACIS*次發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開(kāi)發(fā)和安裝了數以千計的主動(dòng)隔振系統，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。
STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍
穩定時(shí)間作為對擾動(dòng)的響應，由于*特的串聯(lián)式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動(dòng)態(tài)負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。
如下優(yōu)勢在業(yè)內都是*與倫比的
●STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
●6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB
●從2-3Hz時(shí)，隔振可達90% (20dB)
專(zhuān)業(yè)的環(huán)境調查
1、安裝前后的環(huán)境調查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波
2、安裝后可提供環(huán)境系統體系認證
●完善的環(huán)境調查服務(wù)
●開(kāi)具專(zhuān)業(yè)環(huán)境報告
●提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測及解決方案
●TMC基于其廣泛經(jīng)驗向用戶(hù)推薦實(shí)用性方案
●40多年的行業(yè)經(jīng)驗，業(yè)內的*導者
應用照片
