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TMC主動(dòng)隔振平臺STACIS III
STACIS® III是一種靈活的高級主動(dòng)隔振系統。STACIS采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、先進(jìn)的控制算法和*先進(jìn)的壓電致動(dòng)器，通過(guò)連續測量地面活動(dòng)，然后擴展和收縮壓電致動(dòng)器來(lái)過(guò)濾地面運動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。
STACIS最初設計用于隔離先進(jìn)半導體工廠(chǎng)中的精密微光刻、計量和檢測設備，現已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導體工廠(chǎng)、失效分析實(shí)驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設施和材料研究中心）中最敏感儀器的行業(yè)標準解決方案。
STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶(hù)提供了現代化且易于使用的圖形用戶(hù)界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數百個(gè)成功的安裝案例，是理想的隔振系統，適用于對振動(dòng)最為敏感的儀器。
TMC主動(dòng)隔振平臺STACIS III的優(yōu)勢
STACIS比空氣隔振器硬數百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統的局限性。它沒(méi)有“軟"懸架，與主動(dòng)空氣系統不同，STACIS可以放置在帶有內部主動(dòng)空氣隔振系統的工具下方，使兩個(gè)系統都在最佳狀態(tài)下運行。
*特的串行設計和專(zhuān)有的高力壓電技術(shù)，可實(shí)現0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的*越主動(dòng)隔振性能。
主動(dòng)隔振光學(xué)平臺系統STACIS III特征
●最新改進(jìn)型DC-2020數字控制器，提供易于使用的圖形用戶(hù)界面
●隔振開(kāi)始于0.6赫茲，1Hz時(shí)達到40％至70％的隔離率
●頻率2赫茲和更高時(shí)，垂直和水平隔振率大于90％
●降低基礎設施的要求和建設成本，即使有較大外界震動(dòng)設備也可正常運行
●有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz
●獲得眾多用戶(hù)的廣泛認可和肯定
●6向自由度硬安裝設計，無(wú)需空氣懸架
●強大的控制系統無(wú)需定期重新校準
●point-of-use設計方案，與客戶(hù)現有隔振系統無(wú)縫兼容
●隨著(zhù)外部環(huán)境改變，系統自動(dòng)調節以適應不同外部震動(dòng)情形
●TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執行器主動(dòng)消振
●數字控制器與基于PC的圖形用戶(hù)界面（GUI）
●提高客戶(hù)產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。
●符合RoHS標準
●最寬的主動(dòng)隔振帶寬，*美的低頻隔振效果
●亞赫茲的主動(dòng)震動(dòng)消除，最主要在0.6-6Hz頻段內的隔振
●可堆疊式設計
●主動(dòng)硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無(wú)低頻漂移、主動(dòng)元件與剛性彈簧相連
●被動(dòng)彈簧濾除了來(lái)自STACIS傳感器的負載諧振，需要的調諧非常少，甚至無(wú)需調諧
●由于阻抗不匹配，可兼容儀器內部隔離器
●負載可達2000kg
●市場(chǎng)上*美的主動(dòng)隔振系統
性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動(dòng)來(lái)測試4500磅（2045千克）有效載荷
性能規格
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz時(shí)的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩定時(shí)間（減少10:1） | 0.3秒 |
內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每個(gè)隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） | |
高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） | |
剛度（1000磅 / 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng) | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器設計、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
主動(dòng)隔振元件 | 最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號， 其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動(dòng)， 并提供與振動(dòng)運動(dòng)速度成正比的電壓 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動(dòng) |
隔振器尺寸（寬x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm |
隔振器重量 | 75磅（34千克） |
工作溫度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
儲存溫度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
濕度 | 30 - 60% |
系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC；<600 W 符合CE標準 |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每個(gè)系統的隔振器數量 | 至少3個(gè) |
可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩 |
DC-2020控制器規格
尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC |
后面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 1個(gè)RS-232 DB-9傳統串行，用于傳統的STACIS 2100隔振器 |
用戶(hù)界面 | 前面板液晶顯示屏 超級終端上的字符菜單 適用于Microsoft Windows的擴展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI |
STACIS用戶(hù)及應用領(lǐng)域
1、微電子、半導體
●晶片檢測
●顯微光刻技術(shù)
●掩膜校準
2、科學(xué)研究、納米技術(shù)
●SEM、TEM
●STEM、SPM
3、激光臺
●生命科學(xué)、藥物研發(fā)
4、工業(yè)應用
●精密加工
為什么要選擇主動(dòng)系統？
●從<1Hz開(kāi)始強烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振
●提高質(zhì)量、生產(chǎn)量
●更加細小特色的成像能力
●前沿研究
●比氣動(dòng)平臺更穩定
●滿(mǎn)足SEM標準地點(diǎn)安裝參數的*一解決方案
●使得新實(shí)驗室及研究設備的工程造價(jià)更低
主動(dòng)系統為何選擇STACIS
●正中了科研者的的心聲，提供了盡可能*美的無(wú)震環(huán)境。
●市場(chǎng)上*美強勁的低頻隔振系統。
●目前所有的SEM廠(chǎng)商都公布了安裝參數要求，其需要的震動(dòng)參數需要主動(dòng)隔振系統才能滿(mǎn)足。
●STACIS*次發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開(kāi)發(fā)和安裝了數以千計的主動(dòng)隔振系統，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。
STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍
穩定時(shí)間作為對擾動(dòng)的響應，由于*特的串聯(lián)式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動(dòng)態(tài)負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。
如下優(yōu)勢在業(yè)內都是*與倫比的
●STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
●6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB
●從2-3Hz時(shí)，隔振可達90% (20dB)
專(zhuān)業(yè)的環(huán)境調查
1、安裝前后的環(huán)境調查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波
2、安裝后可提供環(huán)境系統體系認證
●完善的環(huán)境調查服務(wù)
●開(kāi)具專(zhuān)業(yè)環(huán)境報告
●提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測及解決方案
●TMC基于其廣泛經(jīng)驗向用戶(hù)推薦實(shí)用性方案
●40多年的行業(yè)經(jīng)驗，業(yè)內的*導者
應用照片
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