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TMC潔凈室試驗臺

簡(jiǎn)要描述:TMC潔凈室試驗臺,全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動(dòng)隔振工作臺,設計安裝在地面上,可實(shí)現*大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學(xué)平臺、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。

  • 產(chǎn)品型號:63-635
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-05-22
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:269
詳細介紹

TMC潔凈室試驗臺63-635

全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動(dòng)隔振工作臺,設計安裝在地面上,可實(shí)現最大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學(xué)平臺、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。

TMC潔凈室試驗臺63-635 

ClassOne工作站用潤濕酒精的無(wú)絨布進(jìn)行了擦拭,并在出廠(chǎng)前用塑料進(jìn)行雙層包裹。

TMC潔凈室試驗臺 

Gimbal Piston隔振器

所有CleanBench工作臺均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標準配置。在并排測試中,Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能,即使在極低的輸入激勵水平下也能保持其性能規格。專(zhuān)有的減振技術(shù)使Gimbal Piston能夠穩定上重下輕的有效載荷,并能迅速消除隔振臺面的干擾。

TMC潔凈室試驗臺 

優(yōu)點(diǎn)

2 Hz開(kāi)始的垂直和水平隔振

10 Hz時(shí)振動(dòng)減少95%以上

幾乎無(wú)摩擦,避免了滾動(dòng)摩擦向靜摩擦過(guò)渡

通過(guò)充當萬(wàn)向節來(lái)調整水平位移

即使是*低輸入水平,Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個(gè)方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性,對典型的低振幅環(huán)境地面振動(dòng)具有高響應性,而對于嚴重的瞬態(tài)干擾(例如突然的負載變化或頂板撞擊),它可實(shí)現非常好的減振效果。結果表明,Gimbal Piston隔振器可提供*越的隔振效果,幾乎可以在幾秒鐘內消除任何嚴重干擾。它還可以穩定具有相對較高重心的隔振系統,而不會(huì )影響隔振效果。

 

低振幅輸入響應

TMC潔凈室試驗臺 

在設計有效的隔振器時(shí),所遇到的最大挑戰是在周?chē)ㄖ孛嬲駝?dòng)的典型低振動(dòng)幅度輸入下保持良好性能。隔振器規格通?;趯⒏粽衿鞣胖迷谡穹斎胨椒浅8叩摹罢駝?dòng)臺"上進(jìn)行的測量。這種輸入振幅約為毫米的測試會(huì )導致對性能的估計不切實(shí)際,并且具有誤導性,因為結果不能反映實(shí)際使用中的性能。

 

Gimbal Piston隔振器設計的*特之處在于即使在最安靜、真實(shí)的地面環(huán)境中也能保持其規定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線(xiàn)性關(guān)系,因為設計幾乎沒(méi)有摩擦,因此能夠避免滾動(dòng)摩擦到靜摩擦過(guò)渡。

 

我們在典型的地面振動(dòng)水平下測試的所有其他系統要么比聲稱(chēng)的共振頻率高,要么通過(guò)隔振器支架的傳輸大幅增加。

 

我們強調性能規格在低輸入水平的重要性,因為我們在自己的測試和許多使用過(guò)的設備中反復觀(guān)察到,在更大的振幅和更高的頻率下更容易實(shí)現更好的性能。

TMC潔凈室試驗臺 

水平與垂直輸入

我們創(chuàng )新的隔振器可以充當萬(wàn)向節,使薄壁滾動(dòng)密封膜片能夠適應水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架,而是將載荷放在一個(gè)單獨的頂板上,該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內的剛性桿。桿的底部有一個(gè)支撐在堅硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地搖動(dòng)(無(wú)滑動(dòng)或滾動(dòng)),因此,固有的柔性聯(lián)軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平,該方法也非常有效,因為靜摩擦幾乎與滾動(dòng)摩擦相同。水平運動(dòng)只是轉換為通常的垂直膜片彎曲,但同相:活塞的一側向上,另一側向下,以萬(wàn)向節式運動(dòng)。

TMC潔凈室試驗臺 

其他類(lèi)型隔振器的局限性

厚壁橡膠膜片。大多數商用隔振器在活塞中采用廉價(jià)的厚壁橡膠膜片來(lái)實(shí)現垂直隔振。由于這些元件的相對靈活性,低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統用手感覺(jué)起來(lái)較“柔軟",但對于典型的低水平地面振動(dòng),橡膠更像是一個(gè)剛性聯(lián)軸器而并非柔性隔振器。

 

密封氣動(dòng)隔振器(被動(dòng))。密封空氣隔振器不會(huì )自動(dòng)根據負載變化進(jìn)行調整。這種系統的主要局限性在于,它們太硬而不能有效地隔振。例如,一個(gè)真正1.5 Hz共振頻率的被動(dòng)隔振器在負載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時(shí)會(huì )垂直漂移幾英寸,并且需要不斷的手動(dòng)調整。因此,實(shí)際密封隔振器并沒(méi)有這一設計的低共振頻率。

 

軸承滑板。 理論上,軸承滑板可通過(guò)其解耦效應實(shí)現水平隔振。實(shí)際上,如果要讓這種設計在低振幅下工作,就需要公差很小、經(jīng)過(guò)精密磨削的硬化軸承?,F有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動(dòng)。此外,所有這些系統最初都很難對齊,并且很容易偏離校準范圍。

 

自制組裝。 自制隔振系統 - 通常是放置在橡膠墊、網(wǎng)球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動(dòng)頻率高且需要最小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質(zhì)量的原理,但它們的性能主要通過(guò)彈簧剛度來(lái)區分:彈簧越硬,共振頻率越高。因此,自制解決方案受到其高共振頻率的限制。

 

具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時(shí)開(kāi)始隔振,并可在10 Hz時(shí)將振動(dòng)降低95%以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網(wǎng)球在10 Hz以上開(kāi)始隔振并在30 Hz時(shí)將振動(dòng)減小90%。但是大多數建筑物地面在5到30 Hz之間表現出最高的振動(dòng)位移,因此網(wǎng)球或橡膠墊通過(guò)放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實(shí)際上會(huì )使問(wèn)題變得更加嚴重。

TMC潔凈室試驗臺 

規格

 

Isolator natural frequency:

High Input

 

Low Input

 

Vertical=1.2Hz

Horizontal=1.0Hz

Vertical=1.5-2.0Hz

Horizontal=1.2-1.7Hz

Isolation effciency@5Hz

Vertical=70-85%

Horizontal=75-90%

Isolation effciency@10Hz

Vertical=90-97%

Horizontal=90-97%

Recommended payload

350lb(160kg)

Finish

Electropolished stainless steel frame,passivated or electropolished stainless steel top

Facilities required

80 psi nitrogen or air

 

TMC潔凈室試驗臺 

訂購表

Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站

工作臺尺寸(深 x 長(cháng))

鈍化不銹鋼頂部

電拋光不銹鋼頂部 

750 x 875毫米

29.5 x 34.5英寸

63-631

63-635

750 x 1175毫米

29.5 x 46.3英寸

63-641

63-645

900 x 1175毫米

35.4 x 46.3英寸

63-661

63-665

900 x 1500毫米

35.4 x 59.0英寸

63-671

63-675

 

配件 - 所有工作臺尺寸

可伸縮腳輪(一套四個(gè))

83-015-01

 

配件 - 取決于尺寸

工作臺尺寸

(深 x 長(cháng))

滑動(dòng)擱板 - 250毫米(1英寸)

圖案:10毫米(0.4英寸)

孔在25毫米(1英寸)中心

后支撐桿和安裝夾具1 

750 x 875毫米

29.5 x 34.5英寸

81-312-06

81-302-05

750 x 1175毫米

29.5 x 46.3英寸

81-312-06

81-302-06

900 x 1175毫米

35.4 x 46.3英寸

81-312-07

81-302-06

900 x 1500毫米

35.4 x 59.0英寸

81-312-07

81-302-07

*定擱板時(shí)需要


 


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