主動(dòng)隔振光學(xué)平臺安裝有測量和制造設備的地板或多或少會(huì )有振動(dòng),而這些振動(dòng)將可能對電干涉儀等精密儀器設備造成不利影響,導致測量數據不等。
隔振臺,又稱(chēng)減振臺或減震臺,即是消除這些振動(dòng)有效的解決方案,是科學(xué)研究當中常用的一種光學(xué)平臺,用于搭載各類(lèi)高精度顯微鏡,干涉儀,輪廓儀,摩擦學(xué),高精度計量等精密儀器設備,以消除影響測量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,以便營(yíng)造適合該精密設備的實(shí)驗環(huán)境條件。
1.什么是主動(dòng)隔振臺
主動(dòng)隔振臺使用電氣控制,通過(guò)對傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng),傳感器不斷監測振動(dòng),并基于該信息,執行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,防震臺的主動(dòng)隔振頻率為0.7Hz-200Hz,被動(dòng)隔振頻率>200Hz, 其期能夠整合到現有的需要低頻隔振的設備中,主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除;允許自由選擇整個(gè)系統的尺寸和配置,可通過(guò)增加隔振模塊的數量來(lái)支持更大的儀器載重量。安裝簡(jiǎn)單,易操作,穩定性高,能*連續使用多年。
2、什么是被動(dòng)隔振臺
被動(dòng)隔振臺以其*的柔和運動(dòng),易于移動(dòng)的形狀和適當的重量來(lái)吸收傳入的振動(dòng),并消耗振動(dòng)能量進(jìn)行隔振。因此,諸如防振橡膠和空氣彈簧z類(lèi)的柔軟材料以及可以輕柔移動(dòng)的零件是被動(dòng)隔振臺的重要元素。
主動(dòng)隔振光學(xué)平臺采用高阻尼處理技術(shù)和超高性能空氣彈簧,*集成且使用簡(jiǎn)單,適用于光學(xué)顯微鏡,干涉儀,輪廓儀等精密儀器,可以為用戶(hù)提供的被動(dòng)隔振性能。主動(dòng)隔振臺與被動(dòng)隔振臺的區別兩者的區別在于隔振方法。被動(dòng)隔振臺是由于材料特性(例如空氣彈簧)而使用抗損失性(粘滯性,空氣阻力等)的控件,而主動(dòng)隔振臺是被動(dòng)隔振臺控件的一部分,但使用振動(dòng)(或振動(dòng)),該相位由控制系統進(jìn)行電子調節(反相),該系統命令執行器獲取由檢測傳感器獲得的傳感器信息。