主動(dòng)隔振光學(xué)平臺使產(chǎn)品具有更低的共振頻率應用于掃描探針顯微鏡，共聚焦激光顯微鏡，干涉儀系統，三維形狀測量機，激光位移測量系統，除振系統是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動(dòng)器而構成的組裝型除振裝置。

　　平臺能發(fā)揮出除振性能、制振性能等，緊湊的機身集成了自由度的主動(dòng)除振機構，可提供以往的被動(dòng)型無(wú)法實(shí)現的振動(dòng)環(huán)境，這款機器可以發(fā)揮技術(shù)領(lǐng)域所要求的高精度及高分解能，小巧輕便的桌面型主動(dòng)隔振臺，負載能力強大，隔振效果突出。

　　主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機構和主動(dòng)隔振器，每個(gè)支撐里面一般會(huì )有4個(gè)主動(dòng)隔振器和一臺主控箱，主動(dòng)隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動(dòng)的驅動(dòng)器，通過(guò)原理驗證試驗證明了改變節流孔徑的大小可以有效地抑制共振放大，但同時(shí)發(fā)現在高頻段的振動(dòng)隔離能力受到了一定的影響。高頻振動(dòng)隔離能力的削弱主要來(lái)自彈簧和附加氣室的整體連接，導致高頻振動(dòng)所產(chǎn)生的微弱壓力差生成的微小氣體量在附加氣室間來(lái)回流動(dòng)，導致產(chǎn)生阻尼，影響了高頻隔振能力。

　　主動(dòng)隔振光學(xué)平臺是一種隔除振動(dòng)的工作平面，它利用自身的固有頻率能有效避開(kāi)環(huán)境振動(dòng)所產(chǎn)生的共振現象，控制振幅放大，減少振動(dòng)傳遞率，消除環(huán)境振動(dòng)對使用精度的影響，廣泛應用于光學(xué)測試、激光掃描、激光干涉和光學(xué)制造等科研和教學(xué)領(lǐng)域中，適用于全息技術(shù)、光譜實(shí)驗技術(shù)、精密檢測技術(shù)、現代光學(xué)、激光技術(shù)、集成電子學(xué)、生物及光纖等工程領(lǐng)域。