光學(xué)系統干涉儀是采用干涉技術(shù)進(jìn)行波前測量的*，其采用瞬時(shí)相移干涉技術(shù)的動(dòng)態(tài)干涉儀，可以應用于光學(xué)系統現場(chǎng)檢驗、復雜/惡劣環(huán)境的光學(xué)檢驗，光學(xué)系統干涉儀已經(jīng)在世界范圍內的激光、空間光學(xué)、天文光學(xué)、軍用光學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應用。其動(dòng)態(tài)光學(xué)輪廓儀解決了大尺寸組件粗糙度測量的難題。

　　光學(xué)系統干涉儀性能：

　　光學(xué)系統干涉儀、補償系統、環(huán)境傳感器全部集成在一個(gè)堅固的輕便外殼內。如果您在現場(chǎng)實(shí)際使用過(guò)傳統的干涉儀系統測量補償機床設備，您就會(huì )明白將一切系統集成在一個(gè)小型輕便外殼內光學(xué)系統干涉的意義。您需要的僅僅這臺小型的堅固儀器和電源線(xiàn)。所有的其余傳感器與系統都是無(wú)線(xiàn)連接的。

　　開(kāi)放結構，實(shí)現遙控：

　　光學(xué)系統干涉儀擁有20針擴展接頭，可以進(jìn)行編程，光學(xué)系統干涉儀可以被集成進(jìn)外部流程。我們可以定義數字或模擬的I/O。使用AquadB輸入，我們可以實(shí)現時(shí)間同步測量。

　　高速度高性能：

　　直線(xiàn)度測量精度可達0.1μm，這是非常的性能，光學(xué)系統干涉儀甚至可以在6m/s的測量速度下達到以上精度等級。我們甚至擁有在30 m/s速度下測量的特殊版本。

　　測量軟件支持典型功能應用：

　　測量軟件是整個(gè)測量系統的一部分，光學(xué)系統干涉不再另外收費。