主動(dòng)隔振平臺由減振平臺和控制器兩部分組成。減振平臺采用精密金屬彈簧實(shí)現被動(dòng)隔振，由精密直線(xiàn)電機實(shí)現主動(dòng)減振，用于反饋控制檢測的速度傳感器采用超精密震動(dòng)探頭，所有零部件封閉在機體內，系統運行時(shí)不需提供額外壓縮空氣，能自適應調節地基前饋，實(shí)現自由度減振。低頻振動(dòng)能量大，波長(cháng)長(cháng)，距離大，電鏡對低頻振動(dòng)敏感，電鏡內部有氣缸（被動(dòng)），自行可以消除中高頻振動(dòng)。高頻振動(dòng)可以換位置解決，低頻振動(dòng)難以通過(guò)被動(dòng)去解決，用于將超精密儀器與低頻振動(dòng)隔離，人體工程學(xué)設計使用戶(hù)可以舒適地執行要求應用。另外，桌子支架底部安裝腳輪和調平腳，使用戶(hù)可以將桌子放在所需的位置。

　　主動(dòng)隔振平臺可以從0.7Hz開(kāi)始隔離振動(dòng)，適合用于得到更大低頻隔振性能，對于在1-10Hz范圍內的隔振效果很是明顯，而精密儀器設備對于1-10Hz的振動(dòng)是很敏感的，便攜、緊湊型的設計，可以非常輕松地安裝在工作臺或者桌面上，對于輸入參數的只有一個(gè)要求就是要通過(guò)標準的交流電接口供電。

　　主動(dòng)隔振平臺能夠克服一般光學(xué)平臺以及氣浮平臺低頻共振，配合隔音箱能夠隔絕空氣的擾動(dòng)，能夠給精密測量提供振動(dòng)隔離，適用于時(shí)間頻率測量、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡，被設計用來(lái)使超精密儀器設備可以隔離來(lái)自于建筑地面的振動(dòng)，可隔離的頻率低于1Hz，該系統可理想應用于光學(xué)顯微鏡、掃描探針顯微鏡及計量?jì)x器，可以輕松選擇并設置三個(gè)增益中的一個(gè)以獲得適合當前環(huán)境的良好性能。